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半導体・液晶製造装置

パソコン、携帯電話、薄型テレビ。今やあらゆる電気・電子機器の生産に無くてはならないのが「半導体・液晶製造装置」です。この装置の発展はPCの高性能化、携帯電話の高機能化のみならず大型テレビのコストダウンなど生活をより豊かにしています。微細で高い性能が求められる先端技術にもTHK製品はお応えしています。

ガラス端面研磨ユニット

カーナビゲーションやモバイル機器などに使用される液晶パネル。この端面を綺麗に仕上げる工程には、動きがスムーズなボールリテーナ入りLMガイドやコンパクトな形状のボールねじが採用されています。

ガラス端面研磨ユニット


ガラス基板用搬送装置

大きな液晶ガラス基板を高速でかつ長距離搬送させるためには、優れた高速性、安定した精度、ロングストロークにも追従可能なLMガイドとリニアモータ駆動の組み合わせが不可欠となっています。

ガラス基板用搬送装置


液晶ガラス基板用プローバー用テーブルユニット

液晶ガラス基板の電気的特性を検査する測定器には、広範囲に渡り正確な位置決めが要求されます。高精度に仕上げられたLMガイドとボールねじは、益々大型化される液晶ガラス基板にも追従し生産効率の向上に寄与しています。

石英るつぼ外径測定機

シリコンインゴッドの製造工程に使用される石英るつぼ。これの外観寸法を測定する装置にはLMガイド・ボールねじなどが組み合わされたLMアクチュエータGL形が使用されています。設計工数や取付けの手間が削減されトータルコストダウンに寄与します。