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精密ステージ

X-Yステージやアライメントステージなど様々な精密ステージを取り揃えています。

精密ステージ

 


XYシリーズ A/AX

XYシリーズ A/AX

 

精密研削された断面高さの低いLMガイドと精密ボールねじの採用により、高精度な位置決め送りのできる精密XYステージです。専用サドルを使用しないXYの組合わせなので、ストロークは1軸ステージの組合わせで自由に選択できます。


中抜きXYステージ DX

中抜きXYステージ DX

 

案内部にクロスLMガイドCSR形を使用し駆動ボールねじをCSR形ブロックの外側に配置させ、中央の角穴が中抜き構造のサドルレスXYステージです。中抜きトップテーブルと中抜きベースの間にクロスLMガイドCSR形を高剛性フレームの四辺に配置したため、シンプル・高剛性で高さの低い構造が可能となりました。


高応答XYステージ EX

高応答XYステージ EX

 

クロスLMガイドCSR形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルXYステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、XY各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました。


アライメントステージ CMX

アライメントステージ CMX

 

ベース・トップテーブル間の四隅に、クロスLMガイドCSRとクロスローラーリングRUを組合わせたモジュールを平面配置する独特の構造を採用し、超薄形構造を実現した精密アライメントステージです。


小型アライメントステージ CHX

小型アライメントステージ CHX

 

予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置したことにより、超薄型アライメントステージを実現た精密アライメントステージです。


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