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Apprications

 

測試

X 光測試裝置

機具損壞偵測裝置

目視檢查裝置
型號 KRF / LM 導軌 型號 ES 型號 ES / 線性襯套

KRF 可用於 CCD 攝影機的樣品工作台和 可動部分。 透過將單元結合上 R 導軌, 以從任何方向進行測試

將精巧的 ES 安裝於工具庫的剩餘空間內,即使在處理期間,也能在不影響加工的情況下偵測任何工具損壞狀況。 ES 可用於配備 CCD 攝影機的目視檢查裝置。 將裝置結合上線性襯套,便可降低成本。
PCB 連續性檢查系統

細胞檢查單元

亮度計測器
型號 KRF 型號 KRF / USW 型號 SKR
KRF 可用於探針器的移動部分。 使用此高剛性的型號,可在不利條件下進行此項操作,並縮短週期時間。  KRF 可用於夾頭的垂直運動單元,而 USW 則可用於橫向運動單元。 玻璃板往往脆弱易碎,必須非常小心處理,所以高剛性的 KRF 是合理的選擇。 計測器移動部中使用了SKR。由於測量中會要求精度,因此採用高精度、小型的SKR,成功實現了小型化。