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半導體與 LCD 製造設備

今日,半導體與 LCD 面板的製程設備對於各種電動與電子產品 (包括 PC、手機、及平面電視) 的製造相當重要。這些設備的發展促成了 PC 性能與手機功能的改善,並減少了平面電視的成本,進而豐富了人們的生活。THK 的產品能夠滿足這類高科技對於精密移動控制的需求。

玻璃毛邊研磨裝置

平順移動的精巧型滾珠螺桿及帶球保持器 LM 導軌,可應用於生產汽車導向系統與行動產品用 LCD 面板的高效率系統中。

玻璃毛邊研磨裝置


玻璃基板輸送設備

若要長距離、快速地運送大型晶質玻璃基板,高速、最佳精確度以及長行程追蹤能力等特性是十分重要的。在這方面,結合 LM 導軌及直線運動馬達驅動系統,可以輕鬆達成這項任務。

玻璃基板輸送設備


LCD 面板探測器裝置

為測試 LCD 面板基板的電子特性,量測儀器必須能夠將在相當大的範圍內對基板進行定位。加工至高精確度的 LM 導軌與滾珠螺桿,便能提供此類的控制,並對大面積基板的高效率製造產生貢獻。

晶圓切割器

晶圓切割器是用來切割大型晶圓並分割出各 IC 晶片的設備。高速旋轉軸末端的雷射切割裝置和非常薄的徑向刀葉,能夠精確地切割出 IC 晶片。必須持續以高精確度與高穩定性運轉的引導與驅動部位中,使用了 LM 導軌與滾珠螺桿。在此領域中,THK 的超精密技術佔有絕對的優勢。