2008年4月14日
LMアクチュエータGL-N形をベースに、独自のクリーン環境用構造を採用したアクチュエータ登場
1.
独自のシールシート採用により、ISO14644-1 ※ 1 クラス4(FED209E クラス10 相当)※ 2を達成。
2.
最高速度2000mm/s、ストローク1000mm 以上でISO14644-1 ※ 1 クラス4※ 2 を達成。
3.
ボールリテーナ入りLM ガイドと潤滑装置QZの組み合せにより、長期メンテナンスフリーを実現。
※1 ISO14644-1はJIS B9920に相当
※2 クラス4(FED209E クラス10 相当)を達成するには、吸引継手から吸引が必要です。
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