超薄型アライメントステージ　CHX形

フラットパネルディスプレイの製造・検査装置などに最適な精密アライメントステージCMX形に加え、超薄型・超小型のアライメントステージCHX形が新登場。

最小寸法〔ステージ高さ35mm、トップテーブルサイズ100mm × 100mm〕、繰り返し位置決め精度±１μm以下を実現。
CHX形は、太陽電池や半導体、有機ELや電子部品向け製造装置などの高精度化、ダウンサイジング化へ貢献いたします。