Skip to Contents


Home > METALEX2019 [2019.11.20-23] (タイ・バンコク)

組立・検査・測定の位置決め、角度調整に最適な各種精密ステージ

フィックスステージ

Z軸 アライメント用二軸傾斜 XY軸
fix fix fix
THK CHUOの独自技術により、位置決め後もしっかり固定出来ます。
フィックスステージの3つのメリット(従来の手動ステージとの比較)
  • ズレない、動かない
  • コンパクト
  • クランプ不要

  • 用途:センサの位置調整、レンズ・カメラの位置調整、試料台

     

    手動ステージ・自動ステージ

    スリムステージ:X軸 ハイグレード:XY軸 ハイグレード:回転
    手動ステージ・自動ステージ 手動ステージ・自動ステージ 手動ステージ・自動ステージ
    お客様の用途にあわせた豊富なラインナップを準備しています。
    手動ステージ:X軸、XY軸、Z軸、回転軸、傾斜軸、複合軸
    自動ステージ:X軸、XY軸、Z軸、回転軸、傾斜軸

     
    用途:センサの位置調整、レンズ・カメラの位置調整、試料台

     

    ピエゾステージ

    標準自動 開口付き 回転・チルト
    ピエゾステージ ピエゾステージ ピエゾステージ
    ピエゾ素子の特性を活かし高精度なナノメートル位置決めが可能です。
    真空や非磁性等の特殊環境向けのカスタマイズも行います。

    標準ステージ:X軸、XY軸、Z軸、XYZ軸、回転軸、ゴニオ軸、チルト軸
    開口ステージ:X軸、XY軸、Z軸、XYZ軸
     
    対物レンズフォーカス用、光学ミラーアライメント用、超精密加工機用(1軸/2軸)
    分解能1nm~
    繰り返し位置決め精度±1nm~

    用途:レーザー/オプティクス関連機器、光学調整、精密スキャニング、マッピング測定
             対物レンズフォーカス、超精密ナノ加工、高速切削加工、各種試験