高加減速対応・低摺動 ミニチュアLMガイドの受注を開始 ～装置案内部の高速・高加減速化に貢献し、生産性向上へ～【ニュースリリース】

高加減速対応・低摺動 ミニチュアLMガイドは、半導体チップの生産能力向上に役立つ高加減速に対応した性能を持つLMガイドです。ミニチュアLMガイドの高速・高加減速動作における耐久性と低摺動性を兼ね備え、なおかつ既存の2列ゴシックアーチ溝を採用したミニチュアLMガイドとの取付寸法互換を実現しました。

新開発したボール循環部品により最高速度5m/s、最高加減速度300m/s²を実現しており、生産性向上が求められる半導体製造装置に最適です。特に、高い生産性能を要求されるダイボンダーやテストハンドラーといった半導体製造の後工程設備、さらにはチップマウンターなどの主軸案内部の使用に最適化されています。

THKはこれからも、次世代技術をリードする半導体装置業界に向けて、高速化/高精度化/小型化/長寿命化を提案し、確かな技術力をもって進歩する技術革新に貢献してまいります。