こんなお悩みや課題はありませんか？
1. タクトタイム
装置の品質を維持しながら高速動作を実現し、タクトタイムの短縮を図りたい。
2. 応答性の向上
摺動抵抗を抑える事で、サーボモーターの応答性を向上させ高速かつ正確な位置制御を実現したい。
3. コンパクト
装置設計を変えずにできるだけコンパクトに設計したい。
課題を解決するミニチュアLMガイドの特長
高加減速対応・低摺動 ミニチュアLMガイド（形番：AHR）は、半導体チップ生産能力向上に役立つ性能を実現しています。
特長1. 高速・高加減速・長距離走行性能
新開発の循環部品により、高強度・強靭化を実現しました。
高速・高加減速動作時のロバスト性を向上し、 生産性向上に貢献します。
最高速度5m/s 最高加減速度300m/s2 10万kmの耐久性
特長2. 低摺動抵抗
THKコア技術である理想的な4列サーキュラーアーク溝2点接触構造により、低摺動化を実現しました。これによりサーボ制御性向上に貢献いたします。
特長3. 既存のミニチュアLMガイドと取付寸法互換
既存のゴシックアーチ溝を採用したミニチュアLMガイドと取付寸法互換があるため、置換えが可能です。
活用事例
高加減速対応・低摺動 ミニチュアLMガイド（形番：AHR）は、各種半導体製造装置及び電子部品移載装置などの可動部に最適です。
半導体製造装置・電子部品移載装置の例
ダイボンダー
ダイソーター
チップマウンター
テストハンドラー
その他の半導体製造装置に対応した製品
ケージずれ防止機構付きクロスローラーガイドVRG形
VRG形は、THK独自のラック&ピニオン機構により、ケージずれを防止し、安定した動作を実現します。
既存VR形よりローラー数を増加させ、高い基本定格荷重を実現します。
半導体製造装置、電子部品の製造装置や光学式の測定器等での使用に最適です。
標準タイプ
既存VR形と取付寸法互換のため、置換えが可能です。また、標準タイプは取付間隔を自由に設定できるため、設計自由度が高い製品です。
センターレールタイプ
センターレールは標準タイプの内側2本のレールが一体化した形状になっています。これにより、取付が簡略化され、幅寸法のコンパクトなテーブルユニットが構成可能です。
その他のミニチュア製品
総ローラータイプLMガイド ミニチュア HRG形
高剛性、長寿命化を実現し、ローラータイプの中では最小サイズとなるミニチュアLMガイドです。
総ボールタイプLMガイド ミニチュア RSX形
循環部の最適化により、滑らかな動きを実現したミニチュアLMガイドです。
ボールリテーナ入りLMガイド ミニチュア SRS形
LMレール断面高さは低く、軽量・コンパクト構造を実現したLMガイドです。
ボールリテーナ入りLMガイド 有限ストローク EPF形
有限ストロークのため、ボールの循環がなく予圧を与えてもスムースに動き、なおかつ転がり抵抗の変動が少ないので、ショートストロークでスムースな動きが必要とされる箇所に最適です。
精密リニアパック ER形
ER形は、ステンレス鋼板を精密成形し、熱処理したあとで研削仕上げされたスライドユニットです。
総ボールタイプLMガイド ミニチュア RSR形
あらゆる方向の荷重が受けられ、小さいモーメント荷重は1軸ガイドで十分使用できるミニチュアLMガイドです。2番、3番、14番の小さいサイズ展開があります。