ナノレベルの超精密位置決め装置を比較・選定中の方へ。
ピエゾステージは、超高分解能・高速応答で、研究・製造現場の課題解決に貢献します。
本サイトでは特注設計例や活用事例をご紹介しています。
ピエゾステージの選定で「お悩み」ありませんか？
スピーディーにカスタマイズ対応してほしい…
本体幅や厚みを抑えつつ、ストロークを確保したい等
柔軟なカスタマイズ対応が可能です
短納期で対応してほしい…
需要状況や生産国によって納期が長い等
納期のお悩みはございませんか
日本製・自社開発による「カスタマイズ対応」「短納期」の強み
【仕様打ち合わせ】
営業担当者との技術仕様打ち合わせにより、スピーディーに特殊対応を打ち合わせ
【設計】
国内にいる設計者が都度仕様変更に対応
【出荷】
国内での製造・出荷のため、輸送期間が短い
詳しい仕様などはカタログからご確認いただけます。
半導体ウェハやチップ(ダイ)の精密アライメント用
チルトステージ（圧力センサ付）
【特徴】
- 3つの独立したピエゾアクチュエータで12inchウェハの平行合わせを高精度に行えます。
- ロードセルを組み込んでおり、ウェハどうしの密着時における面内3箇所の圧力バランスもセンシングできます。
- 本体サイズの小さな3点チルト機構も設計製作いたします。
外観検査や欠陥検査における高精度フォーカス用
高荷重Zピエゾステージ
【特徴】
- 特殊な大径レンズや重量のあるレンズにも対応いたします。
- 高い剛性をもつ構造で設計し、重いレンズでも安定且つ高速なフォーカスが実現できます。
- レンズ装着方法は個別に設計対応いたします。
位置調整後に高い加圧力を加える用途
耐加圧用XYθzピエゾステージ
【特徴】
- XYおよびθZ（回転）の動作軸をもち、位置調整後に高い加圧力（プレス圧）を加える用途に設計したステージです。
詳しい仕様などはカタログからご確認いただけます。
レーザー/オプティクス 関連機器、光学調整
干渉計のミラー微調整
波長の数百分の1の細かさで高精度にミラーを制御でき、干渉を利用した光学系も安定した計測が行えます。
透過光学素子のアライメント
小さな本体でも開口部を設けやすく、レーザー光などを透過させる光学デバイスの位置決めに適しています。
光ファイバの光軸調整
光ファイバをXYZ軸方向に高精度且つ高速にアライメントでき、入光のピークポイントが探しやすくなります。
超精密ナノ加工・高速切削加工
FTS
加工高速化と高精度化を目的とした工具の微細切り込みをピエゾステージで行うことで超精密加工が実現します。
ダイヤモンドバイト精密送り
光学デバイスの高機能化にともなった非軸対称自由曲面の加工にも応用できます。
μN(mgf) レベルの微小な力の検知・測定（微小力センサ）
微小押圧荷重の測定
μN～mNレベルの微小な力でも高感度に反応し測定できます。
光ファイバと機能デバイスの
接触検知
デバイス同士の高精度タッチセンサとして使用することもできます。
スプリングプローブの
バネ圧テスト測定
ロードセルでは測定が難しいような小さな弾性力のスプリングも高感度に測定できます。
対物レンズのフォーカス用途
顕微鏡高速フォーカス
観察デバイスの起伏に追従するための速いAFにもピエゾステージが適しています。特殊レンズにも対応します。
画像処理応用
数十Hzで対物レンズを動かしながら高速カメラで取得したスライス画像を重ね合わせて、深い焦点深度の実時間画像が得られます。
詳しい仕様などはカタログからご確認いただけます。
スタンダードモデル
- ストロークの種類を豊富に揃えているピエゾステージの基本型ラインナップです。
- 高速応答を重視した「直接駆動機構」と長いストロークを確保した「変位拡大機構」に分類しています。
高耐久モデル
- 圧電素子を外気から遮断した構造をもつ「金属ケース封入タイプ」を採用し、樹脂外装タイプと比較して周囲温度や湿度に対する耐久性に優れています。
- バイオなど液体を取り扱う機器や高い信頼性（耐久性）を求められる装置への使用に適しています。
歪みゲージ式汎用モデル
- 内蔵変位センサとして「歪みゲージ式」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。
- 移動分解能は静電容量式に及びませんが、フィードバック制御により信頼性の高い位置再現性を備えています。
開口モデル
- 移動テーブル中央に開口（透過穴）を有したラインナップです。
- レーザなどの光を透過させる用途や顕微鏡・分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。
詳しい仕様などはカタログからご確認いただけます。
THKでは、要望精度や形状にカスタマイズ対応可能なステージ・ユニット製品を取り揃えています。
ピエゾステージとTHKの既存製品を組み合わせた提案により設計の課題解決に貢献いたします。
詳しい仕様などはカタログからご確認いただけます。