【高速・高加減速動作時のロバスト性を向上】

• 高強度・強靭化により高速・高加減速動作時のロバスト性を向上、 生産性向上に貢献

【サーボ制御性向上】

• 4列サーキュラーアーク溝2点接触構造による低摺動化を実現し、サーボ制御性向上に貢献

【既存ミニチュアLMガイドと置換え可能】

• ミニチュアLMガイドと取付寸法互換があるため、置換えが可能

超低ウェービング ボールリテーナ入りLMガイド

• 8条列構造を採用しながらも、世界標準であるISO規格［ISO 12090-1:2011 Rolling Bearings］に準じた寸法を実現

ボールリテーナ入りLMガイド SPR/SPS

• 8条列の転動溝、小径ボール、超ロングブロックによって圧倒的な剛性を実現

高機能非磁性・超高耐食製品

• 比透磁率は1.005未満、また予圧により高精度な動作を実現

• 軸受に適した硬度を持ち、耐荷重性能に優れた製品製作が可能

低透磁率LMガイド HSR-M3

• 磁場の影響を受けにくいLMガイドを豊富な実績のあるHSRで実現

• 強磁場環境でも長期間にわたり高精度で安定した直線運動を提供

ピエゾステージ

• 圧電素子を利用したステージ

• 繰り返し位置決め精度±1nm～

• 超高分解能最高1nm～

• 要望精度や形状にカスタマイズ対応可能

精密ステージ

• 繰り返し位置決め精度±0.001mm

• 直線・回転・揺動の組合わせで、様々な装置の基幹部分の最適な高精度位置決めが可能

• 要望精度や形状にカスタマイズ対応可能

【微細ワークへのダメージの低減】

• ノズルとワークの接触を0.15N以下で検知し、瞬時に停止することでワークへのダメージを低減

【サイクルタイムの短縮】

• モータ・センサ・空圧機器の統合制御により上位装置との通信回数を削減し、時間ロスを最小化

【搬送のサイクルタイム短縮】

• 従来の搬送に比べ、高速・高加減速

• 搬送上加工で作業台への引き込み時間削減

【多品種への対応】

• 品種毎に通る工程が異なる場合、登録済みポジションを簡単に切替え

• シフトユニットによる分岐や並列化に対応

【優れた高速旋回性能】

• 高速旋回に適したローラー接触構造により、回転時の発熱を抑制、Dpw・N値300,000を実現

【製品の組付けに必要な周辺部品を削減】

• 内外輪の取付穴で軸やハウジングへの直接固定が可能

【ロボット設計の工数削減に貢献】

• 減速機、モータ、エンコーダ、ブレーキをモジュールとして一体化することで、部品選定・設計・組立 にかかる工数を削減可能

【コンパクトな設計と構造の簡略化・省配線化】

• 配線ケーブルやチューブ等の取り回し性が高く、構造の簡略化／省配線化が可能

• 制御ドライバの別置きにより、本体全長をコンパクトに設計

LMガイドやボールねじなど直動部品向け動画

モータ・ポンプなど回転部品向け動画

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これらの課題をスキル管理AIソリューションで解決いたします！

【ティーチングが容易】

• 目印(サインポスト)を設置するだけ

• 簡単設定でプログラム知識は必要なし

• 初期設置工事が快速で設置コスト安価

【レイアウト変更が手軽】

• ルートテープの変更工事が不要

• 地図の再設定無し

【半導体製造装置の地震対策】

• 装置への設置により装置単体の免震を実現

【用途に応じた「部分免震」を実現】

• モジュールの連結により、装置単体設置からフロア全体まで、用途に応じた部分免震を実現