ユニット
X-Yステージやアライメントステージなど様々なアクチュエータユニットを取り揃えています。
XYステージ AX形
精密研削された断面高さの低いＬＭガイドと精密ボールねじの採用により、高精度な位置決め送りのできる精密ＸＹステージです。専用サドルを使用しないXYの組合わせなので、ストロークは１軸ステージの組合わせで自由に選択できます。
アライメントステージ CMX形
ベース・トップテーブル間の四隅に、クロスＬＭガイドとクロスローラーリング、及び精密ボールねじを組み合わせたモジュールを平面配置する独特の構造を採用した、超薄型構造の精密アライメントステージです。
XYステージ DX形
案内部にクロスＬＭガイドＣＳＲ形を使用し駆動ボールねじをＣＳＲ形ブロックの外側に配置させ、中央の角穴が中抜き構造のサドルレスＸＹステージです。中抜きトップテーブルと中抜きベースの間にクロスＬＭガイドＣＳＲ形を高剛性フレームの四辺に配置したため、シンプル・高剛性で高さの低い構造が可能となりました。
XYステージ EX形
クロスＬＭガイドＣＳＲ形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルＸＹステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました。
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