発塵試験
発塵試験
測定方法（CSKR）
<試験条件>
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 形番 | CSKR3320B（精密級） |
| ストローク | 289mm |
| 速度 | 2000mm/s |
| 加減速度 | 14.7m/s2（1.5G） |
| 吸引量 | 70×10－3 m3/min（70ℓ/min） |
| 作用荷重 | 無し |
<測定条件>
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 測定機器 | パーティクルカウンタ（KC–18 リオン㈱製） |
| 測定部流速 | 250mm/s |
| 測定空気量 | 1×10－3 m3（1ℓ） |
| 測定時間 | 50h |
測定結果
50時間連続動作（最高速度2000mm/s）の評価結果
| 形番 | ストローク [mm] |
速度 [mm/s] |
加減速度 [m/s2] |
吸引量※1 ×10－3[m3/min] |
クリーン度※2 （ISO14644–1：1999） |
|---|---|---|---|---|---|
| CSKR2006A（精密級） | 129 | 600 | 4.9 | 12 | クラス3 |
| CSKR2606A（精密級） | 206 | 600 | 4.9 | 24 | クラス3 |
| CSKR3320A（精密級） | 365 | 2000 | 14.7 | 56 | クラス4 |
| CSKR3320B（精密級） | 489 | 1200 | 4.9 | 60 | クラス4 |
| CSKR4620A（精密級） | 369 | 2000 | 14.7 | 80 | クラス4 |
| CSKR4620B（精密級） | 659 | 800 | 4.9 | 46 | クラス4 |
-
※1
吸引量には配管抵抗の影響は含まれていません。配管抵抗は配管長さや配管径に起因する抵抗値で、流量を損失させますのでご注意ください。
-
※2
クリーン度については使用される条件により異なります。
| 粒径 | クラス1 | クラス2 | クラス3 | クラス4 | クラス5 | クラス6 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.1μm以上 | 10 | 100 | 1000 | 10000 | 100000 | 1000000 |
| 0.2μm以上 | 2 | 24 | 237 | 2370 | 23700 | 237000 |
| 0.3μm以上 | － | 10 | 102 | 1020 | 10200 | 102000 |
| 0.5μm以上 | － | 4 | 35 | 352 | 3520 | 35200 |
測定方法（CKSF）
<試験条件>
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 形番 | CKSF4–10–0400 |
| ストローク | 400mm |
| 速度 | 500mm/s |
| 加減速度 | 9.8m/s2（1G） |
| 吸引量 | 30×10－3 m3/min（30ℓ/min） |
| 作用荷重 | 無し |
<測定条件>
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 測定機器 | パーティクルカウンタ（KC–18 リオン㈱製） |
| 測定部流速 | 250mm/s |
| 測定空気量 | 1×10－3 m3（1ℓ） |
| 測定時間 | 50h |
測定結果
50時間連続動作（最高速度500mm/s）の評価結果
| 形番 | ストローク [mm] |
速度 [mm/s] |
加減速度 [m/s2] |
吸引量※1 ×10－3[m3/min] |
クリーン度※2※3 （ISO14644–1：1999） |
|---|---|---|---|---|---|
| CKSF4–10–0400 | 400 | 500 | 9.8 | 30 | クラス４ |
| CKSF5–20–0600 | 600 | 1000 | 19.6 | 50 | クラス６ |
| CKSF6–30–0650 | 650 | 1500 | 19.6 | 60 | クラス５ |
| CKSF8–40–0750 | 750 | 2000 | 19.6 | 160 | クラス５ |
| CKSF10–50–0850 | 850 | 2500 | 14.7 | 230 | クラス7 |
-
※1
吸引量には配管抵抗の影響は含まれていません。配管抵抗は配管長さや配管径に起因する抵抗値で、流量を損失させますのでご注意ください。
-
※2
クリーン度については使用される条件により異なります。
-
※3
ストリップシール摺動部は初期摩耗が発生します。（評価試験結果は、初期摩耗後のデータです。）
また、測定データは参考値でありクリーン度を保証するものではありません。
| 粒径 | クラス1 | クラス2 | クラス3 | クラス4 | クラス5 | クラス6 | クラス7 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.1μm以上 | 10 | 100 | 1000 | 10000 | 100000 | 1000000 | － |
| 0.2μm以上 | 2 | 24 | 237 | 2370 | 23700 | 237000 | － |
| 0.3μm以上 | － | 10 | 102 | 1020 | 10200 | 102000 | － |
| 0.5μm以上 | － | 4 | 35 | 352 | 3520 | 35200 | 352000 |
測定方法（CKRF）
<試験条件>
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 形番 | CKRF5–10–0300A–0 |
| ストローク | 300mm |
| 速度 | 500mm/s |
| 加減速度 | 4.9m/s2（0.5G） |
| 吸引量 | 12×10－3 m3/min（12ℓ/min） |
| 作用荷重 | 無し |
<測定条件>
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 測定機器 | パーティクルカウンタ（KC–18 リオン㈱製） |
| 測定部流速 | 250mm/s |
| 測定空気量 | 1×10－3 m3（1ℓ） |
| 測定時間 | 50h |
測定結果
50時間連続動作（最高速度500mm/s）の評価結果
| 形番 | ストローク [mm] |
速度 [mm/s] |
加減速度 [m/s2] |
吸引量※1 ×10－3[m3/min] |
クリーン度※2※3 （ISO14644–1：1999） |
|---|---|---|---|---|---|
| CKRF4–06–0150A–0 | 150 | 300 | 4.9 | 10 | クラス4 |
| CKRF5–10–0300A–0 | 300 | 500 | 4.9 | 12 | クラス4 |
| CKRF6–10–0400A–0 | 400 | 500 | 4.9 | 15 | クラス4 |
-
※1
吸引量には配管抵抗の影響は含まれていません。配管抵抗は配管長さや配管径に起因する抵抗値で、流量を損失させますのでご注意ください。
-
※2
クリーン度については使用される条件により異なります。
-
※3
ストリップシール摺動部は初期摩耗が発生します。（評価試験結果は、初期摩耗後のデータです。）
また、測定データは参考値でありクリーン度を保証するものではありません。
| 粒径 | クラス1 | クラス2 | クラス3 | クラス4 | クラス5 | クラス6 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.1μm以上 | 10 | 100 | 1000 | 10000 | 100000 | 1000000 |
| 0.2μm以上 | 2 | 24 | 237 | 2370 | 23700 | 237000 |
| 0.3μm以上 | － | 10 | 102 | 1020 | 10200 | 102000 |
| 0.5μm以上 | － | 4 | 35 | 352 | 3520 | 35200 |
測定方法（CGL）
<試験条件>
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 形番 | CGL20N（ボールねじリード40mm） |
| ストローク | 520mm |
| 速度 | 2000mm/s |
| 加減速度 | 9.8m/s2（1G） |
| 吸引量 | 88×10－3 m3/min（70ℓ/min） |
| 作用荷重 | 無し |
<測定条件>
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 測定機器 | パーティクルカウンタ（KC–18 リオン㈱製） |
| 測定部流速 | 250mm/s |
| 測定空気量 | 1×10－3 m3（1ℓ） |
| 測定時間 | 50h |
測定結果
50時間連続動作（最高速度2000mm/s）の評価結果
| 形番 | ストローク [mm] |
速度 [mm/s] |
加減速度 [m/s2] |
吸引量※1 ×10－3[m3/min] |
クリーン度※2 （ISO14644–1：1999） |
|---|---|---|---|---|---|
| CGL15N（ボールねじリード30mm） | 520 | 1500 | 9.807 | 80 | クラス4 |
| CGL15N（ボールねじリード30mm） | 1134 | 595 | 48 | クラス3 | |
| CGL20N（ボールねじリード40mm） | 520 | 2000 | 88 | クラス4 | |
| CGL20N（ボールねじリード40mm） | 1480 | 673 | 56 | クラス3 |
-
※1
吸引量には配管抵抗の影響は含まれていません。配管抵抗は配管長さや配管径に起因する抵抗値で、流量を損失させますのでご注意ください。
-
※2
クリーン度については使用される条件により異なります。
| 粒径 | クラス1 | クラス2 | クラス3 | クラス4 | クラス5 | クラス6 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.1μm以上 | 10 | 100 | 1000 | 10000 | 100000 | 1000000 |
| 0.2μm以上 | 2 | 24 | 237 | 2370 | 23700 | 237000 |
| 0.3μm以上 | － | 10 | 102 | 1020 | 10200 | 102000 |
| 0.5μm以上 | － | 4 | 35 | 352 | 3520 | 35200 |
