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クリーンシリーズ

クリーンシリーズは、クリーンさが求められる環境に最適なシリーズです。クリーンルームに最適な低発塵構造を実現したアクチュエータです。

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  • サーボモータ対応
  • ステッピングモータ対応
  • ボールリテーナ入り
  • ロングストローク(アクチュエータ)
  • クリーン仕様
  • 長期メンテナンスフリー(アクチュエータ)
  • 高剛性(アクチュエータ)
  • 高精度(アクチュエータ)
  • 高速(アクチュエータ)
  • コンパクト(アクチュエータ)
低発塵構造 CSKR
  • サーボモータ対応
  • ステッピングモータ対応
  • ボールリテーナ入り
  • クリーン仕様
  • 長期メンテナンスフリー(アクチュエータ)
  • 高剛性(アクチュエータ)
  • 高精度(アクチュエータ)
  • 高速(アクチュエータ)
  • コンパクト(アクチュエータ)
簡易クリーン構造 CKSF
  • サーボモータ対応
  • ステッピングモータ対応
  • ロングストローク(アクチュエータ)
  • クリーン仕様
  • 長期メンテナンスフリー(アクチュエータ)
  • 高剛性(アクチュエータ)
  • 高速(アクチュエータ)
  • コンパクト(アクチュエータ)
簡易クリーン構造 CKRF
  • サーボモータ対応
  • ステッピングモータ対応
  • クリーン仕様
  • 長期メンテナンスフリー(アクチュエータ)
  • 高剛性(アクチュエータ)
  • 高速(アクチュエータ)
  • コンパクト(アクチュエータ)
低発塵構造 CGL
  • サーボモータ対応
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特長

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構造と特長

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CSKR/CGL

コンパクト・高剛性
クリーンタイプ

CSKR-A
CSKR-B
CGL

CKSF/CKRF

低発塵構造・高剛性
クリーンタイプ

CKSF
CKRF

クリーンシリーズは、独自のシールシートを採用し、クリーン環境に最適な低発塵構造を実現したアクチュエータです。コンパクトで高速性に優れたアクチュエータを採用することで、クリーンルームでも生産性の高い装置設計が可能です。

特長① クリーン環境に最適な低発塵構造

新機構のフルカバー構造に加え、左右どちらでも吸引継手の取付けが可能です。

CKSF/CKRF
CSKR/CGL
ISO14644-1:2015に基づくクリーン度の上限濃度（参考）

粒径

クラス1

クラス2

クラス3

クラス4

クラス5

クラス6

クラス7

クラス8

クラス9

0.1μm 以上

10

100

1000

10000

100000

1000000

－

－

－

0.2μm 以上

－

24

237

2370

23700

237000

－

－

－

0.3μm 以上

－

10

102

1020

10200

102000

－

－

－

0.5μm 以上

－

－

35

352

3520

35200

352000

3520000

35200000

1μm 以上

－

－

－

83

832

8320

83200

832000

8320000

5μm 以上

－

－

－

－

－

293

2930

29300

293000

特長② コンパクトで高剛性なアクチュエータを採用

コンパクトシリーズのSKR/KSF/KRF、ユニバーサルシリーズのGL-Nを採用したことにより、コンパクトで剛性の高い性能を実現。

CSKR/CKSF/CKRF
図：U 字形断面形状のアウタレール
CGL
図：アルミベースに LM ガイドを組合わせた構造

シリーズ一覧（CSKR　サーボドライバコントローラTLC/THC仕様）

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形番 ボールねじリード
[mm]		 ストローク※1
[mm] 		定格速度※2
[mm/s] 		モータ定格出力
[W]		 最大可搬質量※3[kg] 各ストロークにおける最高速度※4［mm/s］
ストローク※1［mm］
水平 壁掛け 垂直
100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
CSKR20 1 30～130 50 50 12.5 10 3
50
6 300 12.5 10 6
300
CSKR26 2 60～210 100 50 27.5 22 14
100
6 300 27.5 22 7
300
CSKR33 6 45～595 300 100 43.5 35 19
300
10 500 34.5 30 12
500
20 1000 21 20 6
1000
CSKR46 10 190～790 500 200 77 77 18
500 430
20 1000 41.5 41.5 8
1000 840
10 500 400 96 77 23
500 430
20 1000 90 54.5 18
1000 840
  • ※1

    ストロークは、スライダ種類がAタイプ時の値です。

  • ※2

    定格速度は、モータの定格回転数3000min－1時の速度です。

  • ※3

    最大可搬質量は、定格速度時、下記加減速度時の質量です。
    リード10mm未満は0.15G/リード10mmは0.3G/リード20mmは0.5G

  • ※4

    最高速度は、モータの回転数3000min－1時の速度、もしくはアクチュエータの許容速度によって制限される速度です。

シリーズ一覧（CKSF/CKRF　サーボドライバコントローラTLC/THC仕様）

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形番 ボールねじリード
[mm]		 ストローク
[mm] 		定格速度※5
[mm/s] 		モータ定格出力
[W]		 最大可搬質量※6[kg] 各ストロークにおける最高速度※7［mm/s］
ストローク※1［mm］
水平 壁掛け 垂直
300 350 400 450 500 550 600 650 700 750 800 850 900 950 1000 1050 1100 1150 1200 1250 1300 1400 1500
CKSF4 10 50～900 500 100 19 10.5 8.5
500 440 380 340 300 260 230 210
16 800 14 8.5 7
800 710 620 540 480 420 380 340
CKSF5 10 50～900 500 100 26 19 12.5
500 440 390 350 310 280
20 1000 7.5 7.5 6
1000 890 790 700 630 570
CKSF6 20 50～1300 1000 200 42 20 12
1000 980 870 770 690 630 570 520 470 430 400 370 340 320
30 1500 20.5 18 7.5
1500 1480 1310 1160 1040 940 850 780 710 650 600 550 510 480
CKSF8 20 100～1500 1000 400 83.5 45 23.5
1000 980 800 670 560 480 420 360 320
40 2000 19 19 10.5
2000 1970 1610 1340 1130 970 840 730 650
CKSF10 25 100～1500 1250 750 118.5 76 33.5
1250 1050 890 760 660 580 510
50 2500 40 40 14.5
2500 2110 1790 1530 1330 1160 1030
CKRF4 6 50～300 300 50 12 8.5 3.5
300
CKRF5 6 50～550 300 50 22 18 7
300 250
10 500 21 13.5 6.5
500 430
CKRF6 6 50～800 300 100 36.5 30.5 14
300 260 220 200 170 150
10 500 36.5 23.5 11.5
500 440 380 330 290 260
  • ※5

    定格速度は、モータの定格回転数3000min－1時の速度です。

  • ※6

    最大可搬質量は、定格速度時、加減速度0.3G（リード6mmは0.15G、リード20mm以上は0.5G）の質量です。

  • ※7

    最高速度は、モータの回転数3000min－1時の速度、もしくはアクチュエータの許容速度によって制限される速度です。

シリーズ一覧（CKRF　ステッピングドライバコントローラTSC仕様）

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形番 ボールねじリード
[mm]		 ストローク
[mm] 		モータサイズ 最大可搬質量※8[kg] 各ストロークにおける最高速度※8［mm/s］
ストローク［mm］
水平 壁掛け 垂直
50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 550 600 650 700 750 800
CKRF4 6 50～300 ステッピングモータ□35 6.5 6 4
300
CKRF5 6 50～550 ステッピングモータ□42 20 14.5 7.5
300 250
10 10 10 6
500 430
  • ※8

    使用条件により可搬質量と最高速度が変わります。詳しくは、各掲載ページの「速度と可搬質量　関係図」をご参照ください。

シリーズ一覧（CGL　サーボドライバコントローラTHC仕様）

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形番 ボールねじリード
[mm]		 ストローク※9
[mm] 		定格速度※10
［mm/s］		 モータ定格出力
［W］		 最大可搬質量※11[kg] 各ストロークにおける最高速度※12［mm/s］
ストローク※9［mm］
水平 壁掛け 垂直
100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300 1400 1500 1600
CGL15N 5 110～1190 250 100 60 60 13
250 200 140 100
10 500 200 60 60 16
500 380 260 190
16 800 50 50 7
800 660 460 340
20 1000 45 45 10
1000 750 520 380
20 1000 400 60 60 16
1000 750 520 380
30 1500 30 30 10
1500 1140 790 580
CGL20N 5 220～1540 250 200 70 70 23
250 180 130 100 80
10 500 70 70 15
500 380 260 190
20 1000 29 29 6
1000 740 540 410 330
20 1000 400 60 60 15
1000 740 540 410 330
40 2000 13 13 6
2000 1480 1080 830 660
  • ※9

    ストロークは、テーブル種類がSテーブル時の値です。

  • ※10

    定格速度は、モータの定格回転数3000min－1時の速度です。

  • ※11

    最大可搬質量は、定格速度時、加減速度0.3G（リード5mmのみ0.15G）の質量です。

  • ※12

    最高速度は、モータの回転数3000min－1時の速度、もしくはアクチュエータの許容速度によって制限される速度です。

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