クリーンシリーズ 低発塵構造 CSKR

CSKRは、SKRを使用したクリーン環境に最適な電動アクチュエータ

  • サーボモータ対応
  • ステッピングモータ対応
  • ボールリテーナ入り
  • クリーン仕様
  • 長期メンテナンスフリー(アクチュエータ)
  • 高剛性(アクチュエータ)
  • 高精度(アクチュエータ)
  • 高速(アクチュエータ)
  • コンパクト(アクチュエータ)

種類

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  • モータ定格出力50W
  • モータ定格出力100W
  • モータ定格出力200W
  • モータ定格出力400W
  • モータ直結
CSKR20
  • モータ定格出力50W
  • モータ直結

LMガイド部 基本定格荷重(N):基本動定格荷重 6010 / 基本静定格荷重 8030

CSKR26
  • モータ定格出力50W
  • モータ直結

LMガイド部 基本定格荷重(N):基本動定格荷重 13000 / 基本静定格荷重 16500

CSKR33
  • モータ定格出力100W
  • モータ直結

LMガイド部 基本定格荷重(N):基本動定格荷重 17000 / 基本静定格荷重 20400

CSKR46
  • モータ定格出力200W
  • モータ定格出力400W
  • モータ直結

LMガイド部 基本定格荷重(N):基本動定格荷重 39500 / 基本静定格荷重 45900

特長

構造と特長

特長① クリーン環境に最適な低発塵構造

シールシートを用いた独自のカバーリング機構により、CSKR20/26ではクリーン度ISO14644‒1※1クラス3(FED209Dクラス1相当)※2、 CSKR33/46ではクリーン度ISO14644‒1※1クラス4(FED209Dクラス10相当)※2を達成しました。

  • ※1

    ISO14644‒1:1999はJIS B9920相当です。

  • ※2

    クラス3またはクラス4を達成するには、吸引継手から吸引が必要です。

CSKR 構造

特長② 高速

CSKR33/46ではISO14644‒1※1クラス4(FED209Dクラス10相当)※2の環境下において、最高速度2000mm/sの連続動作※3が可能です。

  • ※1

    ISO14644‒1:1999はJIS B9920相当です。

  • ※2

    クラス3またはクラス4を達成するには、吸引継手から吸引が必要です。

  • ※3

    潤滑剤にTHK AFE‒CAグリースを使用した場合です。

特長③ 長期メンテナンスフリー

CSKRはLMガイド部、ボールねじ部にボールリテーナ※4を採用しており、長期メンテナンスフリーを実現しました。

※4 オプション対応となります。
(CSKR20/26はLMガイド部のみにボールリテーナを採用し、ボールねじ部には潤滑装置QZを装着しています。)

特長④ 高剛性

CSKRは、U字形断面形状のアウタレールを採用しているので、高剛性です。

CSKR

特長⑤ クリーン仕様

CSKRは、低発塵特性に優れたAFE‒CAグリース(THK製)とクリーン仕様のワンタッチ管継手KPQL (SMC㈱製)を採用しています。

使用例

ウエハーパレタイジング
搬送

ウエハー搬送部にCSKRを使用しています。高いクリーン度要求のため、クリーンシリーズのCSKRが採用されました。また、3軸直交での剛性も高く、コンパクトに組上げることを可能にいたしました。

ウエハーパレタイジング

シリーズ一覧(CSKR サーボドライバコントローラTLC/THC仕様)

形番 ボールねじリード
[mm]
ストローク※1
[mm]
定格速度※2
[mm/s]
モータ定格出力
[W]
最大可搬質量※3[kg] 各ストロークにおける最高速度※4[mm/s]
ストローク※1[mm]
水平 壁掛け 垂直
100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
CSKR20 1 30~130 50 50 12.5 10 3
50
6 300 12.5 10 6
300
CSKR26 2 60~210 100 50 27.5 22 14
100
6 300 27.5 22 7
300
CSKR33 6 45~595 300 100 43.5 35 19
300
10 500 34.5 30 12
500
20 1000 21 20 6
1000
CSKR46 10 190~790 500 200 77 77 18
500 430
20 1000 41.5 41.5 8
1000 840
10 500 400 96 77 23
500 430
20 1000 90 54.5 18
1000 840
  • ※1

    ストロークは、スライダ種類がAタイプ時の値です。

  • ※2

    定格速度は、モータの定格回転数3000min-1時の速度です。

  • ※3

    最大可搬質量は、定格速度時、下記加減速度時の質量です。
    リード10mm未満は0.15G/リード10mmは0.3G/リード20mmは0.5G

  • ※4

    最高速度は、モータの回転数3000min-1時の速度、もしくはアクチュエータの許容速度によって制限される速度です。

形番ごとの詳細情報

寸法図・寸法表

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製品 コンテンツ
LMガイド LMレール標準長さと最大長さ/LMレールタップタイプ/LMレールクランプ用コマ/LMレールクランプ用鉄板 ···
ボールねじ 軸方向すきま/軸の最大製作長さ ···
アクチュエータ 可動部質量 ···