種類
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- モータ定格出力50W
- モータ定格出力100W
- モータ定格出力200W
- モータ定格出力400W
- モータ直結
特長
構造と特長
特長① クリーン環境に最適な低発塵構造
シールシートを用いた独自のカバーリング機構により、CSKR20/26ではクリーン度ISO14644‒1※1クラス3(FED209Dクラス1相当)※2、 CSKR33/46ではクリーン度ISO14644‒1※1クラス4(FED209Dクラス10相当)※2を達成しました。
-
※1
ISO14644‒1:1999はJIS B9920相当です。
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※2
クラス3またはクラス4を達成するには、吸引継手から吸引が必要です。
特長② 高速
CSKR33/46ではISO14644‒1※1クラス4(FED209Dクラス10相当)※2の環境下において、最高速度2000mm/sの連続動作※3が可能です。
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※1
ISO14644‒1:1999はJIS B9920相当です。
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※2
クラス3またはクラス4を達成するには、吸引継手から吸引が必要です。
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※3
潤滑剤にTHK AFE‒CAグリースを使用した場合です。
特長③ 長期メンテナンスフリー
CSKRはLMガイド部、ボールねじ部にボールリテーナ※4を採用しており、長期メンテナンスフリーを実現しました。
※4 オプション対応となります。
(CSKR20/26はLMガイド部のみにボールリテーナを採用し、ボールねじ部には潤滑装置QZを装着しています。)
特長④ 高剛性
CSKRは、U字形断面形状のアウタレールを採用しているので、高剛性です。
特長⑤ クリーン仕様
CSKRは、低発塵特性に優れたAFE‒CAグリース(THK製)とクリーン仕様のワンタッチ管継手KPQL (SMC㈱製)を採用しています。
使用例
ウエハーパレタイジング
搬送ウエハー搬送部にCSKRを使用しています。高いクリーン度要求のため、クリーンシリーズのCSKRが採用されました。また、3軸直交での剛性も高く、コンパクトに組上げることを可能にいたしました。
シリーズ一覧(CSKR サーボドライバコントローラTLC/THC仕様)
形番 | ボールねじリード [mm] |
ストローク※1 [mm] |
定格速度※2 [mm/s] |
モータ定格出力 [W] |
最大可搬質量※3[kg] | 各ストロークにおける最高速度※4[mm/s] | ||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
ストローク※1[mm] | ||||||||
水平 | 壁掛け | 垂直 |
100
200
300
400
500
600
700
800
900
1000
|
|||||
CSKR20 | 1 | 30~130 | 50 | 50 | 12.5 | 10 | 3 |
50
|
6 | 300 | 12.5 | 10 | 6 |
300
|
|||
CSKR26 | 2 | 60~210 | 100 | 50 | 27.5 | 22 | 14 |
100
|
6 | 300 | 27.5 | 22 | 7 |
300
|
|||
CSKR33 | 6 | 45~595 | 300 | 100 | 43.5 | 35 | 19 |
300
|
10 | 500 | 34.5 | 30 | 12 |
500
|
|||
20 | 1000 | 21 | 20 | 6 |
1000
|
|||
CSKR46 | 10 | 190~790 | 500 | 200 | 77 | 77 | 18 |
500
430
|
20 | 1000 | 41.5 | 41.5 | 8 |
1000
840
|
|||
10 | 500 | 400 | 96 | 77 | 23 |
500
430
|
||
20 | 1000 | 90 | 54.5 | 18 |
1000
840
|
-
※1
ストロークは、スライダ種類がAタイプ時の値です。
-
※2
定格速度は、モータの定格回転数3000min-1時の速度です。
-
※3
最大可搬質量は、定格速度時、下記加減速度時の質量です。
リード10mm未満は0.15G/リード10mmは0.3G/リード20mmは0.5G -
※4
最高速度は、モータの回転数3000min-1時の速度、もしくはアクチュエータの許容速度によって制限される速度です。
形番ごとの詳細情報
寸法図・寸法表
ポイント① 便利な機能
-
製品の比較がしやすい ハイライト機能
-
何度でも見返せる お気に入り機能
ポイント② 限定コンテンツ
製品 | コンテンツ |
---|---|
LMガイド | LMレール標準長さと最大長さ/LMレールタップタイプ/LMレールクランプ用コマ/LMレールクランプ用鉄板 ··· |
ボールねじ | 軸方向すきま/軸の最大製作長さ ··· |
アクチュエータ | 可動部質量 ··· |