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総ボールタイプLMガイド 高加減速対応・低摺動 ミニチュアLMガイド (形番:AHR)

半導体チップ生産能力向上に役立つ高加減速に対応した性能

  • 高精度
  • 4方向等荷重形
  • 高加減速
  • 低摺動
  • ミニチュア

サイズ : 9,12,15

種類

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  • ロングブロック(LMガイド)
  • ボルト取付方向(上)
  • ショートブロック(LMガイド)
AHR-S形
  • ボルト取付方向(上)
  • ショートブロック(LMガイド)

基本定格荷重(kN):基本動定格荷重 1~2.7 / 基本静定格荷重 1.54~3.75
サイズ : 9,12,15

AHR-M形
  • ボルト取付方向(上)

基本定格荷重(kN):基本動定格荷重 1.62~4.17 / 基本静定格荷重 3.08~6.96
サイズ : 9,12,15

AHR-N形
  • ロングブロック(LMガイド)
  • ボルト取付方向(上)

基本定格荷重(kN):基本動定格荷重 2.16~5.84 / 基本静定格荷重 4.63~11.24
サイズ : 9,12,15

特長

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構造と特長

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構造

新開発の循環部品により高速・高加減速に対応可能なので、生産性向上が求められる半導体製造装置に最適です。
さらに、4方向(ラジアル方向・逆ラジアル方向・横方向)に対して同一定格荷重になるように各ボール列が接触角45°で配置されているので、あらゆる姿勢での使用が可能です。

高速・高加減速対応

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新開発の循環部品により、高強度・強靭化を実現しました。
高速・高加減速動作時のロバスト性を向上し、生産性向上に貢献します。

低摺動抵抗

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THKコア技術である理想的な4列サーキュラーアーク溝2点接触構造により、低摺動化を実現しました。これによりサーボ制御性向上に貢献いたします。

取付寸法互換

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既存のゴシックアーチ溝を採用したミニチュアLMガイドと取付寸法互換があるため、置換えが可能です。

ウェービングの低減

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4条列の転動溝と小径ボールの採用により、LMブロック内の有効ボール数を増やしたことで、既存の2条列ミニチュアLMガイドと比較してウェービングの低減を実現しました。これにより、装置の精度向上に貢献します。
※ 無限循環タイプの転がり直動案内において、走行時に発生する固有の微小うねり

形番ごとの詳細情報

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寸法図・寸法表

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LMガイド LMレール標準長さと最大長さ/LMレールタップタイプ/LMレールクランプ用コマ/LMレールクランプ用鉄板 ···
ボールねじ 軸方向すきま/軸の最大製作長さ ···
アクチュエータ 可動部質量 ···

LMレール標準長さと最大長さ

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