特殊環境用オイルフリー SR-MS形｜LMガイド｜製品情報

種類

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サイズ : 15,20

特長

構造と特長

構造特性

ステンレス材を使用
構成部品はすべて、ステンレス等の特殊環境用部品で構成しています。
脱脂洗浄
洗浄剤で脱脂処理を施してあります。
グリースを使用していない
ステンレス製のボールに信頼性の高い固体潤滑S膜を採用することで、グリースを使用しない潤滑を実現しました。

最大のメリット

真空度10^－6［Pa］に達し、ケミカルコンタミネーション（有機物や水分等のガス状汚染）を嫌う箇所に適しています。

※ 最高温度150℃（瞬時200℃）まで使用可能。

固体潤滑S膜とは･･･

大気圧～高真空環境下での使用を目的に開発された完全な固体潤滑です。
また、他の固体潤滑方式に比べ、耐荷重・耐摩耗・密着性に優れた特性を有しています。

項目	大気		真空		使用環境
項目	摩擦係数	耐摩耗	摩擦係数	耐摩耗	使用環境
二硫化モリブデン（六方晶形）	0.05～0.25	△	0.02～0.1	△	真空
銀（軟質金属）	使用不可	使用不可	0.1～0.3	△	真空
DLC（ダイヤモンドライクカーボン）	0.06～0.15	◎	0.3～0.5	△	大気
固体潤滑S膜	0.02～0.05	○	0.01～0.03	○	大気、真空

真空環境におけるアウトガス

高真空環境でS膜成分のアウトガスは確認されません。

耐久性能

オイルフリーLMガイドは安定した耐久寿命を示します。

特殊環境用オイルフリーLMガイドの用途

業界	装置	オイルフリーLMガイドの優位点
半導体・ FPD製造装置	露光機、有機EL製造装置イオン注入装置、描画装置	アウトガス（有機物系）の発生が少ない高温（～150℃）で使用できる
分析・検査装置	質量分析装置、X線検査装置	高真空環境でも使用できる低速でも安定した転がり抵抗である
宇宙産業	人工衛星、ロボットアーム	宇宙空間で揮発や損失が少ない低音で安定した転がり抵抗である

オイルフリーLMガイドの定格寿命計算式

L_10m ：定格寿命　　　（km）
F₀ 　：許容荷重　　　（N）
P_C 　：計算荷重　　　（N）
α　：使用条件を考慮した係数

注）寿命はS膜の摩耗による寿命を表しております。
使用環境や稼動条件によりＳ膜の寿命は変動する可能性がありますので、必ずお客様の使用環境や稼動条件での評価確認をお願い致します。

形番ごとの詳細情報

寸法図・寸法表

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ポイント① 便利な機能

製品の比較がしやすいハイライト機能
何度でも見返せるお気に入り機能

ポイント② 限定コンテンツ

製品	コンテンツ
LMガイド	LMレール標準長さと最大長さ/LMレールタップタイプ/LMレールクランプ用コマ/LMレールクランプ用鉄板 ···
ボールねじ	軸方向すきま/軸の最大製作長さ ···
アクチュエータ	可動部質量 ···

LMレール標準長さと最大長さ