精度規格

①繰り返し位置決め精度

任意の一点に同じ方向からの位置決めを7回繰り返して、停止位置を測定し、読みの最大差の1/2を求めます。この測定を移動距離の中央および、ほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうちの最大のものを測定値とし、その値に±の符号を付けて表したものです。

②位置決め精度

有効ストロークを基準長さとし、ストローク開始位置から実際に移動した距離と指令値との最大誤差を絶対値で表したものです。

③真直度

直線であるべきテーブルの動きが、理想直線からどれくらいはずれているかを表したものです。

④平行度

テーブルを取付けた面（基準面）に対してテーブルがどれくらい平行に移動するかを表したものです。

⑤ピッチング

テーブルが移動中、進行方向に対し前後方向にどれくらい傾くかを角度で表したものです。

⑥ヨーイング

テーブルが移動中、進行方向に対し左右方向にどれくらい傾くかを角度で表したものです。

⑦ローリング

テーブルが移動中、進行方向に対し回転方向にどれくらい傾くかを角度で表したものです。

⑧ロストモーション

ある位置に2方向（往路と復路）から位置決めを行ったときの再現性を表したものです。
精度＝1/7（t₁+t₂+････t₇）ー1/7（t_1’+t_2’+････t_7’）

⑨バックラッシ

テーブルにわずかに送りをかけて動かした時の値を基準とします。その状態から送り装置によらず、テーブルに同方向から一定の負荷を加え、開放したときの値を読み、基準との差を表したものです。

⑩直角度

直交する２軸において直角であるべきテーブルの動きが理想直角に対しどれくらいはずれているかを表したものです。
精度＝δ₂（真直性を含まない場合）
精度＝δ₁+δ₃（真直性を含む場合）

⑪ヒステリシス

真直度、位置決め精度などの経路が、往路と復路で違うときの、その最大差を表したものです。