本サイトは「SEMICON Japan2023(セミコンジャパン2023)THKオンライン展示特設サイト(※)」のアーカイブページになります。
※2023年12月13日(水)~12月15(金)に東京ビッグサイトで開催された「SEMICON Japan2023(セミコンジャパン2023)」への出展に伴い実施した、オンラインでの製品展示企画です。
こちらでは展示製品・サービスのアーカイブをご覧いただけます。
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半導体製造の特殊環境に
THK製品にご興味をお持ちいただきありがとうございます。
こちらのページでは半導体製造の特殊環境に向けた製品をご紹介しております。
高精度
【ナノメートルオーダーの運動精度】超低ウェービングLMガイド
リニアエンコーダ付きLMガイド SHS-LE
世界標準SHS形とTHK製リニアエンコーダを一体化したLMガイドです。
【LMガイド専用に設計】LMガイド用リニアエンコーダ
電動アクチュエータ コンパクトシリーズ
高剛性なU字形断面形状のアウタレールの内側に、LMブロックとボールねじナットを一体構造としたインナブロックを配置した、コンパクトで高剛性なアクチュエータです。また、ハウジングA/Bがサポートユニット、インナブロックがテーブルの役目も兼ねているので、設計および組立て工数を大幅に削減することが可能となり、トータルコストダウンが可能です。
クリーン
ボールリテーナ入りLMガイド
ボールリテーナ入りLMガイドの仕組みや特長をご紹介する動画です。ボールリテーナ入りLMガイドは、ボール同士の相互摩擦による摩耗がなく、グリースの飛散も少ないため、発塵が低減されます。ボール同士の相互摩擦がなく、グリースの保持力も向上するため、長寿命・長期メンテナンスフリー(潤滑における長期メンテナンスフリー)を実現します。その他にも、低騒音・好音質、高速性や滑らかな動作に優れるなどの特長があります。
電動アクチュエータ クリーンシリーズ
クリーンルームに最適な低発塵構造を実現したアクチュエータです。新機構のフルカバー構造に加え、左右どちらでも吸引継ぎ手の取付けが可能です。クリーン環境への適応だけでなく、コンパクトで剛性の高い性能を実現いたします。
低発塵グリース
低発塵特性に優れた3種類のグリースがございます。
AFE-CAグリースは、THKグリースのなかで最も低発塵特性に優れたグリースです。金属元素を含有していないため半導体製造分野での使用に最適です。
AFFグリースは、粘性抵抗値が低いためころがり変動が少なく低速時の追従性に優れています。
L100グリースは、優れた低発塵性と従来の低発塵グリースにはない、高い極圧性を有したクリーン環境用のグリースです。
表面処理 THK-AP処理
耐食性の向上を目的とした工業用黒クロム被膜処理や、マルテンサイト系ステンレス鋼と同等の耐食性が得られる750HV以上の工業用硬質クロムめっきなどがございます。
高耐食LMガイド
オーステナイト系ステンレス鋼SUS304 材のLMレールと、マルテンサイト系ステンレス鋼の中で最も耐食性に優れるSUS431材を採用した従来にない高耐食性の高いLMガイドです。
高温・真空
高温用ミニチュアLMガイド RSX-M1
最高使用温度を150℃までに向上させた耐食性に優れているミニチュアLMガイドです。
中低真空用LMガイド HSR15M1RVV
大気圧から真空まで幅広い環境で使用でき、ベーキング温度、最高200℃まで対応が可能なLMガイドです。
ステンレス鋼製LMガイド
マルテンサイト系ステンレス鋼を採用した耐食性に優れたLMガイドです。エンドプレートをステンレス鋼製にすることで真空環境・低温使用にも対応できます。
高負荷・高剛性
高負荷高推力 電動アクチュエータ PC
PCの動きをご覧いただける動画です。精密ボールねじのナットとボールスプライン軸を一体構造とすることで、コンパクトで高推力を実現したサーボプレス用アクチュエータです。サーボモータで駆動することで、必要な推力の設定変更も可能です。
ボールリテーナ入り高負荷ボールねじ
高負荷に対する最適設計により、従来品と比べ2倍以上に定格荷重を向上させたボールねじです。
ローラーリテーナ入りLMガイド SRG
ローラーリテーナの採用により、低摩擦でスムーズな動作と長期メンテナンスフリーを実現しました。高い剛性も兼ね備えています。
クロスローラーリング
クロスローラーリングは、ローラーが直交配列されているため、1個の軸受でラジアル荷重、アキシアル荷重およびモーメント荷重などのあらゆる方向の荷重を負荷することができます。
高速・高タクト
【最高速度15m/sを実現】超高速LMガイド FHS
軸端末完成品SDA-VZ_BNK
【高加減速・低摺動】ミニチュアLMガイド
ケージずれ防止機構付きクロスローラーガイド
THK独自のラック&ピニオン機構により、ケージずれを防止し、安定した動作を実現したクロスローラーガイドです。既存VR形よりローラー数を増加させ、高い基本定格荷重を実現します。あらゆる方向の荷重を負荷でき、ステンレス鋼を使用していることで優れた耐食性も有しています。
高速・高加減速リニアモータアクチュエータ GLM
高速・高加減速・高精度を実現したリニアモータアクチュエータです。複数のスライダを独立して制御することで、効率よくワークを搬送することが出来ます。サイクルタイムを短縮したいご要望にお応えします。
ミニチュアローラータイプLMガイド HRG
高剛性、長寿命化を実現し、ローラータイプの中では最小サイズとなるミニチュアLMガイドです。
対磁性
【THK-NM1製】高機能非磁性製品
LMガイドやボールねじ、アクチュエータなど主なTHK製品を、非磁性・高耐食かつ軸受に最適な硬度を持つ「特殊合金THK-NM1」で構成します。
【THK-NM3製】低透磁率LMガイド
セラミックス製LMガイド RSR-Z
LMブロック、LMレール、ボールにセラミックス(Si3N4)を使用し、非磁性と高耐食性を実現したLMガイドです。