LM Guide មិនត្រូវការប្រេង សម្រាប់ស្ថានភាពពិសេស
ណែនាំ LM Guide មិនត្រូវការប្រេង សម្រាប់ប្រើក្នុងស្ថានភាពពិសេស។ ដំណើរការបានយ៉ាងល្អប្រសើរក្នុងស្ថានភាពគ្មានខ្យល់ (រហូតដល់ 10 -6Pa) ជាស្ថានភាពដែលប្រេងមិនអាចប្រើបាន។ ដោយត្រូវបានពាសពីលើដោយ ប្រេងម៉ាស៊ីនស្ងួត S-Compound Film, guide នេះមិនប្រើប្រេងម៉ាស៊ីនទេ ហើយវាផ្សំឡើងពីលោហៈមិនច្រេះ ដែល ensuring low particle-generation និង low out gassing។
ឯកសារកាតាឡុក (ជាទម្រង់PDF 659kB)