精密ステージシリーズ 超薄型アライメントステージ CHX

特長① 超薄型

予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置したことにより、超薄型アライメントステージを実現しました。

特長② トップテーブルの小型化

トップテーブルのサイズは縦横ともに、100～200mmです。従来のアライメントステージCMXよりも小型なトップテーブルが選択可能です。

特長③ 高剛性

適正な予圧が作用したフレキシブル平面軸受を採用したことにより、ラジアル・逆ラジアル・モーメント方向に対して高剛性です。

特長④ 高精度

トップテーブルに作用したラジアル荷重の大部分を上プレートを介してフレキシブル平面軸受が支持するので、駆動モジュールで使用している案内部にはラジアル荷重がほとんど作用しません。そのため、長期的に高精度が維持できます。

特長⑤ 主な用途

• 光学機器、医療機器、バイオ事業
• 太陽電池、光学レンズの貼合わせ装置
• プローブ検査装置
• チップデバイス露光、印刷、塗布装置
• 微細レーザ加工機
• チップマウンタ用アライメント