精密ステージシリーズ
精密ステージシリーズは、直線・回転・揺動の組合わせで、検査装置、顕微鏡、加工機、加工治具等の様々な装置の基幹部分の最適な高精度位置決めが可能なシリーズです。
種類
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- サーボモータ対応
- ステッピングモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
1軸/XY軸ステージ A/AX
- サーボモータ対応
- ステッピングモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
薄型1軸/XY軸ステージ AT/ATX
- サーボモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
精密アライメントステージ CMX
- サーボモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
超薄型アライメントステージ CHX
- ステッピングモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
中抜きXYステージ DX
- サーボモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
高応答XYステージ EX
- サーボモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
くさび構造昇降ステージ KZ
- サーボモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
