精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX

特長① シンプルなXY構造

案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。

特長② 優れた応答性

クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータを両方とも固定する特殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、優れた高速応答性を実現しました。

［モータ軸換算負荷：慣性モーメント］

EX0505：X軸 0.024［kg･cm2］、Y軸 0.027［kg･cm2］
EX0808：X軸 0.026［kg･cm2］、Y軸 0.03［kg･cm2］

• 注）

  カップリング、および搭載質量の慣性モーメントは考慮していません。

特長③ 高剛性XYステージ

XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。

特長④ ガタのない連結機構

X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化した、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。