特長
構造と特長
特長① コンパクト設計
モータ・ボールねじの水平配置により、1軸ステージの縦使い昇降機構に比べ、高さ寸法が極めてコンパクトな構造を実現しました。
特長② 最大可搬質量80kg
80kg搭載時でも精密な位置決めが可能です。
(KZ15Fのみ)
特長③ 容易な据付
ベースの据付部が水平のため、縦使い昇降機構で必要だったイケールが不要になります。
ステージを吊り上げながらの設置が不要となり、安全な据付作業が可能です。
特長④ 高推力、高分解能
くさび構造が減速機構となるため、高推力・高分解能が実現可能です。(減速比1:2)
特長⑤ 主な用途
- 電子デバイス組立、貼り合わせ機構
- 電子デバイスのナノインプリント工程
- 光学レンズ、カメラのアライメント機構
- プローバー検査装置
- レーザ加工機用ワーク昇降機構
形番ごとの詳細情報
寸法図・寸法表
ポイント① 便利な機能
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製品の比較がしやすい ハイライト機能
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何度でも見返せる お気に入り機能
ポイント② 限定コンテンツ
製品 | コンテンツ |
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LMガイド | LMレール標準長さと最大長さ/LMレールタップタイプ/LMレールクランプ用コマ/LMレールクランプ用鉄板 ··· |
ボールねじ | 軸方向すきま/軸の最大製作長さ ··· |
アクチュエータ | 可動部質量 ··· |