精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX

特長① 小型～大型ワークに対応

トップテーブルサイズ50×50mmから1500×1500mmまでのステージを標準化。XYθモジュールを必要数配置することで更なる大型化への対応も可能です。

特長② 超薄型・軽量

XYθモジュールを採用したため、サドルのない薄くて軽い機構を実現しました。

特長③ 中抜き構造^※2

トップテーブル、ベース中央部に大きな空間が得られ、光学式検査装置や導通テスタとしての使用が可能です。

特長④ 高剛性・高精度

XYθモジュールを構成しているクロスLMガイド※1とクロスローラーリングには予圧を与えてあり、高精度で剛性の高い構造です。

特長⑤ 主な用途

• FPD製造装置・検査装置
• 半導体製造装置・検査装置
• スクリーン印刷機・マスク検査装置
• プリント基板製造装置・検査装置
• 太陽電池製造装置・検査装置
• 電子デバイス製造装置・検査装置

• ※1

  CMXS1、S2はLMガイドSRSをクロス状に組合わせています。

• ※2

  中抜き構造はCMX1、2、3のみとなります。