特長
構造と特長

特長① シンプルなXY構造
案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。
特長② 優れた応答性
クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータを両方とも固定する特殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、優れた高速応答性を実現しました。
[モータ軸換算負荷:慣性モーメント]
EX0505:X軸 0.024[kg・cm2]、Y軸 0.027[kg・cm2]
EX0808:X軸 0.026[kg・cm2]、Y軸 0.03[kg・cm2]
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注)
カップリング、および搭載質量の慣性モーメントは考慮していません。
特長③ 高剛性XYステージ
XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。
特長④ ガタのない連結機構
X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化した、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。
形番ごとの詳細情報
寸法図・寸法表
ポイント① 便利な機能
- 製品の比較がしやすい ハイライト機能
- 何度でも見返せる お気に入り機能
ポイント② 限定コンテンツ
製品 | コンテンツ |
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LMガイド | LMレール標準長さと最大長さ/LMレールタップタイプ/LMレールクランプ用コマ/LMレールクランプ用鉄板 ··· |
ボールねじ | 軸方向すきま/軸の最大製作長さ ··· |
アクチュエータ | 可動部質量 ··· |