精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX

低イナーシャ構造で、優れた応答性を実現した高応答XYステージ

  • サーボモータ対応
  • 高精度(アクチュエータ)

種類

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  • モータ直結
EX
  • モータ直結

特長

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構造と特長

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特長① シンプルなXY構造

案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。

特長② 優れた応答性

クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータを両方とも固定する特殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、優れた高速応答性を実現しました。

[モータ軸換算負荷:慣性モーメント]

EX0505:X軸 0.024[kg・cm2]、Y軸 0.027[kg・cm2]
EX0808:X軸 0.026[kg・cm2]、Y軸 0.03[kg・cm2]

  • 注)

    カップリング、および搭載質量の慣性モーメントは考慮していません。

特長③ 高剛性XYステージ

XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。

特長④ ガタのない連結機構

X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化した、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。

形番ごとの詳細情報

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寸法図・寸法表

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製品 コンテンツ
LMガイド LMレール標準長さと最大長さ/LMレールタップタイプ/LMレールクランプ用コマ/LMレールクランプ用鉄板 ···
ボールねじ 軸方向すきま/軸の最大製作長さ ···
アクチュエータ 可動部質量 ···