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半导体和 LCD 制造设备

今天,半导体和 LCD 面板制造设备对于任何种类的电气和电子设备(包括个人电脑、移动电话和平板电视)的生产都是必不可少的。这些设备的进步促进了个人电脑性能和移动电话功能的增强,并通过降低平板电视机的成本丰富了人们的生活。THK 的产品通过精细的运动控制可以满足这类高科技需求。

玻璃边缘打磨单元

在用于高效生产汽车导航系统和移动工具 LCD 面板的系统中,采用了运动极为平滑的紧凑型滚珠丝杠和球保持器型 LM 导轨。

玻璃边缘打磨单元


玻璃基材输送设备

为了快速、长距离地输送大块晶体玻璃基材,必须做到高速、极准确,并且即使在行程很长的情况下也能够加以跟踪。LM 导轨与线性马达驱动系统相结合可以实现这一目标。

玻璃基材输送设备


LCD 面板探测器工作台单元

为了检测 LCD 面板基材的电气特性,测量仪必须能够在宽大的区域内准确定位基材。LM 导轨和滚珠丝杠具有很高的加工精度,能够提供这种跟踪控制,帮助实现高效制造,即使基材的大小增加也没有关系。

钻石轮划片机

钻石轮划片机用于将每块 IC 芯片从其所在更大的晶片上切割和分离出来。采用激光切割设备和高速旋转轴端上的极薄的径向叶片来准确切下 IC 芯片。在必须始终以高精度和高稳定性运转的引导和驱动部分使用了 LM 导轨和滚珠丝杠。THK 的超超精密技术在这一领域表现十分出色。