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精密ステージシリーズ

精密ステージシリーズは、直線・回転・揺動の組合わせで検査装置、顕微鏡、加工機、加工治具等の様々な装置の基幹部分に最適なシリーズです。精密位置決め、高精度位置決めが可能なラインナップをご用意しています。

種類

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  • サーボモータ対応
  • ステッピングモータ対応
  • 高精度(アクチュエータ)
1軸/XY軸ステージ A/AX
  • サーボモータ対応
  • ステッピングモータ対応
  • 高精度(アクチュエータ)
薄型1軸/XY軸ステージ AT/ATX
  • サーボモータ対応
  • 高精度(アクチュエータ)
精密アライメントステージ CMX
  • サーボモータ対応
  • 高精度(アクチュエータ)
超薄型アライメントステージ CHX
  • ステッピングモータ対応
  • 高精度(アクチュエータ)
中抜きXYステージ DX
  • サーボモータ対応
  • 高精度(アクチュエータ)
高応答XYステージ EX
  • サーボモータ対応
  • 高精度(アクチュエータ)
くさび構造昇降ステージ KZ
  • サーボモータ対応
  • 高精度(アクチュエータ)