精密ステージシリーズ
精密ステージシリーズは、直線・回転・揺動の組合わせで検査装置、顕微鏡、加工機、加工治具等の様々な装置の基幹部分に最適なシリーズです。精密位置決め、高精度位置決めが可能なラインナップをご用意しています。

種類
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- サーボモータ対応
- ステッピングモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
1軸/XY軸ステージ A/AX

- サーボモータ対応
- ステッピングモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
薄型1軸/XY軸ステージ AT/ATX

- サーボモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
精密アライメントステージ CMX

- サーボモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
超薄型アライメントステージ CHX

- ステッピングモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
中抜きXYステージ DX

- サーボモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
高応答XYステージ EX

- サーボモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)
くさび構造昇降ステージ KZ

- サーボモータ対応
- 高精度(アクチュエータ)